本发明公开了一种功率器件栅极集成电阻、功率器件及其制备方法，用于栅极电压控制型功率器件，栅极集成电阻包括：设置于栅极PAD和栅极汇流条之间的若干个电阻单元；电阻单元的一端与栅极PAD连接，其另一端通过电阻引出极与栅极汇流条连接或悬空；至少一个电阻引出极与栅极汇流条连接；若干个电阻引出极之间电气隔离，可通过外置导线连接。通过在封装端采用阻值可调的栅极集成电阻的功率器件，在栅极和栅极汇流条之间形成了一个可调可变的内置集成电阻网络，具有电阻调节便利、无需重新进行芯片设计开发、适用频率范围宽、均流效果好等优点。