Invention Publication
- Patent Title: 一种镁锌共掺的AlGaInP红光半导体激光器件及其制备方法
-
Application No.: CN202210144105.9Application Date: 2022-02-17
-
Publication No.: CN116667152APublication Date: 2023-08-29
- Inventor: 朱振 , 刘飞 , 张新
- Applicant: 山东华光光电子股份有限公司
- Applicant Address: 山东省济南市历下区高新区天辰大街1835号
- Assignee: 山东华光光电子股份有限公司
- Current Assignee: 山东华光光电子股份有限公司
- Current Assignee Address: 山东省济南市历下区高新区天辰大街1835号
- Agency: 济南金迪知识产权代理有限公司
- Agent 王楠
- Main IPC: H01S5/343
- IPC: H01S5/343

Abstract:
本发明公开了一种镁锌共掺的AlGaInP红光半导体激光器件及其制备方法,属于光电子技术领域。所述器件由下至上依次包括GaAs衬底、GaAs缓冲层、Ga0.5In0.5P下过渡层、Al0.5In0.5P下限制层、(Alx1Ga1‑x1)y1In1‑y1P下波导层、Gax2In1‑x2P第一量子阱、(Alx3Ga1‑x3)y2In1‑y2P垒层、Gax4In1‑x4P第二量子阱、(Alx5Ga1‑x5)y3In1‑y3P上波导层、Al0.5In0.5P上限制层‑1、Al0.5In0.5P上限制层‑2、Gax6In1‑x6P腐蚀终止层、Al0.5In0.5P上限制层‑3、Ga0.5In0.5P上过渡层和GaAs帽层。通过波导层低掺杂Zn降低吸收损耗,限制层Mg、Zn共掺减少Mg掺杂记忆效应,实现限制层高掺减少载流子溢出,减少废热产生,提高高温工作可靠性。
Information query