一种用于磁栅位移传感器的单场扫描装置
摘要:
一种用于磁栅位移传感器的单场扫描装置,由M组扫描探测单元组成,每组扫描探测单元由N个微尺度霍尔元件构成。N个微尺度霍尔元件(编号为A1,A2,...,AN)等间距地分布在一个磁栅位移传感器栅距Λ内,编号相同的微尺度霍尔元件信号线连接在一起。扫描时把用于感知磁栅位移传感器磁场变化的霍尔元件在空间彼此混合,最终输出的传感信号由多个具有不同空间位置、相同相位关系的微尺度霍尔元件共同产生,相比与现有磁栅位移传感器四场扫描方式,其具有误差均化效应,当磁栅位移传感器局部污染或个别感应元件失效时,本发明依旧可以输出高质量、高可靠性的传感信号,从而提高磁栅位移传感器的服役精度和可靠性。
0/0