- 专利标题: 一种具有高功率高光束质量的GaAs基大功率锥形激光器芯片及其制备方法
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申请号: CN202210168177.7申请日: 2022-02-23
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公开(公告)号: CN116683284A公开(公告)日: 2023-09-01
- 发明人: 王潇潇 , 苏建 , 刘琦 , 徐现刚 , 郑兆河
- 申请人: 山东华光光电子股份有限公司
- 申请人地址: 山东省济南市历下区高新区天辰大街1835号
- 专利权人: 山东华光光电子股份有限公司
- 当前专利权人: 山东华光光电子股份有限公司
- 当前专利权人地址: 山东省济南市历下区高新区天辰大街1835号
- 代理机构: 济南金迪知识产权代理有限公司
- 代理商 许德山
- 主分类号: H01S5/10
- IPC分类号: H01S5/10 ; H01S5/00 ; H01S5/22 ; H01S5/343
摘要:
本发明涉及一种具有高功率高光束质量的GaAs基大功率锥形激光器芯片及其制备方法,本发明提供的GaAs基大功率锥形激光器芯片将传统的锥形激光器单模区和锥形放大区的脊条形式改为边缘具有微结构的宽条区和锥形放大区的脊条形式,边缘具有微结构的宽条区通过边缘滤波实现模式的筛选,不再采用模式宽度截止的方法,实现了功率可提升的目的,并且光束质量不受边缘具有微结构的宽条区的长度影响,可以通过控制边缘具有微结构的宽条区的长度实现功率大小的调控,进而实现锥形激光器高功率高光束质量要求。