发明授权
- 专利标题: 一种耐强碱洗净的镀膜及镀膜方法
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申请号: CN202310155188.6申请日: 2023-02-23
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公开(公告)号: CN116695073B公开(公告)日: 2024-11-01
- 发明人: 郭芳伟
- 申请人: 徐州联超光电科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省徐州市丰县经济开发区智能终端产业园二期C1、C3栋
- 专利权人: 徐州联超光电科技有限公司
- 当前专利权人: 徐州联超光电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省徐州市丰县经济开发区智能终端产业园二期C1、C3栋
- 代理机构: 苏州企航知识产权代理事务所
- 代理商 朱丹
- 主分类号: C23C14/34
- IPC分类号: C23C14/34 ; C23C14/24 ; C23C14/10 ; C23C14/08 ; C23C14/18
摘要:
本发明提出了一种耐强碱洗净的镀膜,包括玻璃基板,所述玻璃基板上依次设有二氧化硅镀层、五氧化三钛、二氧化硅镀层、五氧化三钛、二氧化硅镀层、五氧化三钛、二氧化硅、镧系材料镀层、二氧化硅、镧系材料镀层,其镀膜方法包括:S1:提供玻璃基材;S2:将镀膜溅射机抽真空至5.00*10‑3PA;S3:材料预融,在腔体内固定三组阴极靶材,取固体五氧化三钛通过设置设备电流强度为440MA预融加热至液体,取固体粉末形态的镧系材料配合二氧化钛靶和五氧化二钽,本发明采用了离子源成膜工艺使用TI3O5/SIO2进行成膜,同时加入适量的镧系材料进行加工成膜,其成膜结构为柱状,制密性更佳。并且镀膜工艺通过调整氧气和氩气的比例能够保证薄膜强度以及薄膜的密度,提高抗酸碱性。
公开/授权文献
- CN116695073A 一种耐强碱洗净的镀膜及镀膜方法 公开/授权日:2023-09-05
IPC分类: