一种面向柔性电容传感器的多孔介电层结构的制备方法
Abstract:
本发明属于柔性传感器领域,涉及一种面向柔性电容传感器的多孔介电层结构的制备方法。制备电容传感器介电层结构的核心分为两部分,其一选用合适目数的商用砂纸和真空负压值,确保该条件下介电层薄膜具备丰富多孔结构。其二通过PDMS中掺杂不同浓度的增强介电性材料CNT控制介电层的介电常数(PDMS与CNT的混合溶液简称CPDMS),通过设置匀胶机旋涂的转速,砂纸上的CPDMS在离心力的作用下,可以控制介电层薄膜的厚度,优化传感器的灵敏度。
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