发明公开
CN116753280A 一种高真空旋转密封装置
审中-公开
- 专利标题： 一种高真空旋转密封装置
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申请号： CN202310966650.0申请日： 2023-08-02
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公开(公告)号： CN116753280A公开(公告)日： 2023-09-15
- 发明人: 李书田
- 申请人： 苏州中科重仪半导体材料有限公司
- 申请人地址： 江苏省苏州市吴江区江陵街道厍浜村新浜路99号
- 专利权人： 苏州中科重仪半导体材料有限公司
- 当前专利权人： 苏州中科重仪半导体材料有限公司
- 当前专利权人地址： 江苏省苏州市吴江区江陵街道厍浜村新浜路99号
- 代理机构： 合肥山高专利代理事务所
- 代理商 俞晓明
- 主分类号： F16H21/40
- IPC分类号： F16H21/40 ; F16H61/02 ; F16J15/52
摘要：
本说明书实施例提供一种高真空旋转密封装置，包括摆动机构、驱动机构、密封机构、连接机构以及处理器，摆动机构包括第一摆动盘和第二摆动盘；驱动机构包括外驱动机构和内驱动机构；密封机构包括至少一个波纹管；连接机构包括连杆和十字轴；处理器被配置为：控制外驱动机构以初始驱动参数运行，外驱动机构带动摆动机构摆动，摆动机构的摆动满足预设传动精度；控制连接机构以初始连杆参数运行。
