发明公开
- 专利标题: 表面贴装元件贴装质量的三维检测系统及检测方法
-
申请号: CN202310593604.0申请日: 2023-05-23
-
公开(公告)号: CN116753836A公开(公告)日: 2023-09-15
- 发明人: 蒋仕龙 , 陈方涵 , 张贝贝 , 张驰
- 申请人: 北京大学深圳研究院 , 深港产学研基地(北京大学香港科技大学深圳研修院) , 深圳港科才盛科技产业发展有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市高新技术产业园区南区深港产学研基地大楼东座五楼; ;
- 专利权人: 北京大学深圳研究院,深港产学研基地(北京大学香港科技大学深圳研修院),深圳港科才盛科技产业发展有限公司
- 当前专利权人: 北京大学深圳研究院,深港产学研基地(北京大学香港科技大学深圳研修院) 深圳市港科才盛科技有限公司
- 当前专利权人地址: 518000 广东省深圳市高新技术产业园区南区深港产学研基地大楼东座五楼
- 代理机构: 深圳壹舟知识产权代理事务所
- 代理商 罗秦
- 主分类号: G01B11/00
- IPC分类号: G01B11/00 ; G01B11/06 ; G01B11/02 ; G01N21/01 ; G01N21/88 ; G01N21/95
摘要:
本发明具体提供一种表面贴装元件贴装质量的三维检测系统及检测方法。所述三维检测系统包括条纹光投射装置、第一成像装置、若干第二成像装置、照明光源及处理装置,条纹光投射装置包括数字微镜器件、投影器件和半反半透光学器件,数字微镜器件用于产生并调制条纹光,条纹光透过半反半透光学器件后经由投影器件将条纹光投射至表面贴装元件的表面;第一成像装置用于采集由半反半透光学器件并被半反半透光学器件反射得到的反射光线;所有的第二成像装置用于获取被表面贴装元件的高度调制变形的条纹光;照明光源用于对表面贴装元件提供光照;处理装置用于处理第一成像装置和第二成像装置反馈的信息。本发明提供的三维检测系统具有较高的检测精确度。