表面贴装元件贴装质量的三维检测系统及检测方法
摘要:
本发明具体提供一种表面贴装元件贴装质量的三维检测系统及检测方法。所述三维检测系统包括条纹光投射装置、第一成像装置、若干第二成像装置、照明光源及处理装置,条纹光投射装置包括数字微镜器件、投影器件和半反半透光学器件,数字微镜器件用于产生并调制条纹光,条纹光透过半反半透光学器件后经由投影器件将条纹光投射至表面贴装元件的表面;第一成像装置用于采集由半反半透光学器件并被半反半透光学器件反射得到的反射光线;所有的第二成像装置用于获取被表面贴装元件的高度调制变形的条纹光;照明光源用于对表面贴装元件提供光照;处理装置用于处理第一成像装置和第二成像装置反馈的信息。本发明提供的三维检测系统具有较高的检测精确度。
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