本申请提供一种Z轴运动平台及半导体缺陷检测设备，Z轴运动平台包括：下连接板；上连接板，在垂直方向上与下连接板相对设置并滑动连接于下连接板；载物平台，在垂直方向上设置于上连接板上方；第一调节装置，用于驱动下连接板沿水平方向运动，以使上连接板和载物平台沿垂直方向运动；第二调节装置，设置于载物平台和上连接板之间，用于在垂直方向上带动载物平台相对上连接板运动。第一调节装置可在相对精度较低的应用场景运行，即第一调节装置可以取得更快的响应和更大的行程，第二调节装置可获得更细致的调节精度，由于第一调节装置和第二调节装置的协同作用，可提高Z轴运动平台的功能域。