发明公开

真空试验装置
摘要:
本申请实施例提供了一种真空试验装置,包括:真空试验腔,真空试验腔中设有样品承载部,用于承载多个样品;真空加载腔,能够与真空试验腔相互连通或相互隔绝,真空加载腔中设有用于临时承载样品的临时承载台,真空加载腔配置成能够为临时承载台承载的样品提供真空环境;样品传送杆,样品传送杆包括用于夹持样品的夹持部和与夹持部相接的杆部,杆部配置成当真空加载腔与真空试验腔相互连通时,能够带动夹持部在真空试验腔和真空加载腔中沿直线往复运动,以将样品在样品承载部和临时承载台之间传送;以及升降组件,用于带动临时承载台沿竖向升降运动,以允许杆部带动夹持部在真空试验腔和真空加载腔中沿直线往复运动。
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