发明公开
CN116764693A 真空试验装置
审中-实审
- 专利标题: 真空试验装置
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申请号: CN202310728848.5申请日: 2023-06-19
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公开(公告)号: CN116764693A公开(公告)日: 2023-09-19
- 发明人: 杨万欢 , 李强 , 曹晗 , 丁明哲 , 张鹏 , 王宇回 , 胡古 , 钟巍华
- 申请人: 中国原子能科学研究院
- 申请人地址: 北京市房山区新镇三强路1号院
- 专利权人: 中国原子能科学研究院
- 当前专利权人: 中国原子能科学研究院
- 当前专利权人地址: 北京市房山区新镇三强路1号院
- 代理机构: 北京市创世宏景专利商标代理有限责任公司
- 代理商 姜楠楠
- 主分类号: B01L1/02
- IPC分类号: B01L1/02 ; B01L9/02 ; G01N25/00
摘要:
本申请实施例提供了一种真空试验装置,包括:真空试验腔,真空试验腔中设有样品承载部,用于承载多个样品;真空加载腔,能够与真空试验腔相互连通或相互隔绝,真空加载腔中设有用于临时承载样品的临时承载台,真空加载腔配置成能够为临时承载台承载的样品提供真空环境;样品传送杆,样品传送杆包括用于夹持样品的夹持部和与夹持部相接的杆部,杆部配置成当真空加载腔与真空试验腔相互连通时,能够带动夹持部在真空试验腔和真空加载腔中沿直线往复运动,以将样品在样品承载部和临时承载台之间传送;以及升降组件,用于带动临时承载台沿竖向升降运动,以允许杆部带动夹持部在真空试验腔和真空加载腔中沿直线往复运动。
IPC分类: