本发明涉及一种高强韧低内应力厚TiNi＆TiAl(Ni)NX/TiAlN复合硬质涂层及制备方法，属于防护涂层技术领域。该涂层以合金基体为衬底，采用多弧离子镀进行多靶共沉积技术制备，由内到外包括Ti粘结层、TiAlN过渡层和TiNi＆TiAl(Ni)NX/TiAlN功能层。本发明制备的涂层总厚度为5～30μm，显微硬度为2000 Hv以上。该涂层与基体结合性能优异，且涂层兼具高韧性、高硬度，低内应力、优良的抗裂纹扩展能力及抗高温氧化性能等特点，可适用于硬质合金切削刀具、以及不锈钢合金、钛合金、钛铝合金等材料的耐磨防护。