本发明涉及刻蚀机技术领域，具体涉及一种物理化学效应复合的多功能等离子刻蚀机，包括刻蚀机本体，刻蚀机本体内设置有反应腔，反应腔内设置有供气模块、电离模块、抽真空模块和承载模块，所反应腔内还设置有翻转机械臂，翻转机械臂的端部通过第一伺服电机转动连接有晶圆夹持器，承载模块包括承台，承台的上侧设置有用于放置晶圆的卡盘，卡盘的中部设置有升降孔，承台内设置有用于将卡盘上侧的晶圆顶起的升降装置。解决现有技术中，通过等离子刻蚀机对晶圆进行双面刻蚀的时候，需要打开反应室翻转，降低加工效率的问题。