可控硅器件、可控硅器件制作方法、芯片及电路
摘要:
本发明提供一种可控硅器件、可控硅器件制作方法、芯片及电路,属于半导体器件领域,该器件包括:衬底;第一阱区;第二阱区、第一注入区和第三阱区,沿衬底长度方向形成在第一阱区内;第二注入区和第三注入区,分别形成于第二阱区和第三阱区内;第四注入区和第五注入区,分别形成于第二注入区和第三注入区内;第一多晶硅层和第二多晶硅层,分别形成于第一注入区两侧的衬底表面;第一隔离槽和第二隔离槽,分别形成于第一注入区两侧;第四注入区和第一多晶硅层通过金属连线接入电学阳极,第五注入区和第二多晶硅层通过金属连线接入电学阴极。通过本发明提供的器件,能够提供更高的ESD保护能力,电流走向更为均匀,提高器件响应速度。
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