发明公开
- 专利标题: 可控硅器件、可控硅器件制作方法、芯片及电路
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申请号: CN202310777035.5申请日: 2023-06-28
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公开(公告)号: CN116779605A公开(公告)日: 2023-09-19
- 发明人: 周世聪 , 朱信宇 , 原义栋 , 赵天挺 , 沈红伟 , 董树荣 , 苗清 , 张萌
- 申请人: 北京智芯微电子科技有限公司 , 浙江大学
- 申请人地址: 北京市海淀区西小口路66号中关村东升科技园A区3号楼;
- 专利权人: 北京智芯微电子科技有限公司,浙江大学
- 当前专利权人: 北京智芯微电子科技有限公司,浙江大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区西小口路66号中关村东升科技园A区3号楼;
- 代理机构: 北京润平知识产权代理有限公司
- 代理商 封瑛
- 主分类号: H01L27/02
- IPC分类号: H01L27/02 ; H01L29/06 ; H01L21/8222
摘要:
本发明提供一种可控硅器件、可控硅器件制作方法、芯片及电路,属于半导体器件领域,该器件包括:衬底;第一阱区;第二阱区、第一注入区和第三阱区,沿衬底长度方向形成在第一阱区内;第二注入区和第三注入区,分别形成于第二阱区和第三阱区内;第四注入区和第五注入区,分别形成于第二注入区和第三注入区内;第一多晶硅层和第二多晶硅层,分别形成于第一注入区两侧的衬底表面;第一隔离槽和第二隔离槽,分别形成于第一注入区两侧;第四注入区和第一多晶硅层通过金属连线接入电学阳极,第五注入区和第二多晶硅层通过金属连线接入电学阴极。通过本发明提供的器件,能够提供更高的ESD保护能力,电流走向更为均匀,提高器件响应速度。
IPC分类: