本发明公开了一种倒置钙钛矿太阳能电池及其制备方法，属于太阳能电池制备技术领域，其结构包括导电玻璃基底、空穴传输层、钙钛矿薄膜、电子传输层和金属电极，其制备方法包括清洁、磁控溅射、真空蒸镀、激光刻蚀划线等步骤。本发明采用倒置式的电池结构。在进行钙钛矿薄膜加工时，利用真空蒸镀工艺，将两种或两种以上固态材料逐层蒸镀到已经覆盖了空穴传输层的透明导电玻璃表面。蒸镀完成后，进行退火结晶。通过控制电流控制蒸镀速度，通过控制蒸镀时间调控膜层厚度。采用该方法制备的钙钛矿薄膜，表面平整，均匀性好，致密性高。将其组装成钙钛矿太阳能电池，所得器件的光电转化效率较高，稳定性较好。