发明公开
- 专利标题: 一种高频大带宽声表面波滤波器及其制备方法
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申请号: CN202210257387.3申请日: 2022-03-16
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公开(公告)号: CN116805863A公开(公告)日: 2023-09-26
- 发明人: 潘峰 , 苏荣宣 , 曾飞 , 傅肃磊 , 王瑞 , 沈君尧 , 徐惠平
- 申请人: 清华大学
- 申请人地址: 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室
- 专利权人: 清华大学
- 当前专利权人: 清华大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室
- 代理机构: 北京纪凯知识产权代理有限公司
- 代理商 王春霞
- 主分类号: H03H9/64
- IPC分类号: H03H9/64 ; H03H3/08
摘要:
本发明公开了一种高频大带宽声表面波滤波器及其制备方法。所述声表面波器件包括串联谐振器和并联谐振器,串联谐振器与并联谐振器通过汇流电极连接;串联谐振器、并联谐振器和汇流电极均设于压电基片上;并联谐振器的线宽大于串联谐振器的线宽;串联谐振器和并联谐振器中的叉指电极的厚度不同。本发明通过在串并联谐振器中采用不同厚度的电极从而保证寄生模式被排除在主谐振之外。采用本发明声表面波滤波器在超过3GHz频率下具有极大的通道带宽,并且保证了较小的插入损耗和很低的带内波动。本发明高频大带宽声表面波滤波器容易实现,易于商业推广,在移动通讯领域具有较高的应用价值。