发明公开
- 专利标题: 紫外线激光装置和电子器件的制造方法
-
申请号: CN202180092630.4申请日: 2021-03-19
-
公开(公告)号: CN116830018A公开(公告)日: 2023-09-29
- 发明人: 田丸裕基 , 三浦泰祐 , 安原亮
- 申请人: 极光先进雷射株式会社 , 大学共同利用机关法人自然科学研究机构
- 申请人地址: 日本栃木县;
- 专利权人: 极光先进雷射株式会社,大学共同利用机关法人自然科学研究机构
- 当前专利权人: 极光先进雷射株式会社,大学共同利用机关法人自然科学研究机构
- 当前专利权人地址: 日本栃木县;
- 代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 于英慧
- 国际申请: PCT/JP2021/011548 2021.03.19
- 国际公布: WO2022/195893 JA 2022.09.22
- 进入国家日期: 2023-08-01
- 主分类号: G02B27/28
- IPC分类号: G02B27/28
摘要:
本公开的一个观点的紫外线激光装置在振荡级激光器与放大器之间的光路上配置有光隔离器,该振荡级激光器输出紫外线波长的线偏振的脉冲激光,该放大器对脉冲激光进行放大并输出。光隔离器具有:第1法拉第转子,其通过第1方向的磁场使从振荡级激光器输出的脉冲激光的偏振方向向第1旋转方向旋转第1角度;第1偏振片,其被配置成使从第1法拉第转子输出的脉冲激光以0.9以上的归一化透射率透过;第2法拉第转子,其通过与第1方向相反的方向的磁场使透过第1偏振片后的脉冲激光的偏振方向向与第1旋转方向相反的方向旋转第2角度;以及第2偏振片,其被配置成使从第2法拉第转子输出的脉冲激光以0.9以上的归一化透射率透过。