紫外线激光装置和电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN116830018A

    公开(公告)日:2023-09-29

    申请号:CN202180092630.4

    申请日:2021-03-19

    IPC分类号: G02B27/28

    摘要: 本公开的一个观点的紫外线激光装置在振荡级激光器与放大器之间的光路上配置有光隔离器,该振荡级激光器输出紫外线波长的线偏振的脉冲激光,该放大器对脉冲激光进行放大并输出。光隔离器具有:第1法拉第转子,其通过第1方向的磁场使从振荡级激光器输出的脉冲激光的偏振方向向第1旋转方向旋转第1角度;第1偏振片,其被配置成使从第1法拉第转子输出的脉冲激光以0.9以上的归一化透射率透过;第2法拉第转子,其通过与第1方向相反的方向的磁场使透过第1偏振片后的脉冲激光的偏振方向向与第1旋转方向相反的方向旋转第2角度;以及第2偏振片,其被配置成使从第2法拉第转子输出的脉冲激光以0.9以上的归一化透射率透过。

    光隔离器、紫外线激光装置和电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN116830019A

    公开(公告)日:2023-09-29

    申请号:CN202180092720.3

    申请日:2021-03-19

    IPC分类号: G02B27/28

    摘要: 本公开的一个观点的光隔离器具有:第1偏振片,其使紫外线波长的线偏振的入射光透过;法拉第转子,其通过磁场使透过第1偏振片后的光的偏振方向旋转;以及第2偏振片,其使透过法拉第转子后的入射光透过。法拉第转子的法拉第材料为氟化钙晶体,在将晶轴的[001]的方向设为a轴、[100]的方向设为b轴、[010]的方向设为c轴时,在将这3个轴以c轴为中心旋转第1角度、以旋转了第1角度后的b轴为中心旋转了第2角度后的轴分别设为x轴、y轴和z轴的情况下,第1角度为40度以上且50度以下,第2角度为45度以上且75度以下,z轴与入射光的传播方向平行,以第1偏振片的透射轴与x轴之间的角度差处于0度以上且45度以下的范围内的方式配置氟化钙晶体。

    光隔离器、紫外线激光装置和电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN116868108A

    公开(公告)日:2023-10-10

    申请号:CN202180092624.9

    申请日:2021-03-19

    IPC分类号: G02B27/28

    摘要: 本公开的一个观点的光隔离器具有:第1偏振片,其透射轴被配置成,该第1偏振片针对紫外线波长的线偏振的入射光的归一化透射率为0.9以上;法拉第转子,其是使用法拉第材料得到的,法拉第转子通过磁场使透过第1偏振片后的光的偏振方向沿第1旋转方向旋转第1旋转量,并且,通过光学活性或双折射使偏振方向沿与第1旋转方向相反的方向即第2旋转方向旋转第2旋转量;以及第2偏振片,其透射轴被配置成,该第2偏振片针对透过法拉第转子后的入射光的归一化透射率为0.9以上。

    激光系统和电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN113785453B

    公开(公告)日:2023-06-13

    申请号:CN201980095994.0

    申请日:2019-06-11

    IPC分类号: H01S3/10

    摘要: 本公开的一个观点的激光系统在固体激光装置与准分子放大器之间的光路上配置有射束整形部、随机相位板和准直光学系统。在将入射到准分子放大器的激光的行进方向设为Z方向、将一对放电电极的放电方向设为V方向、将与V方向和Z方向正交的方向设为H方向、将射束整形部的与V方向对应的整形方向设为第1方向、将射束整形部的与H方向对应的整形方向设为第2方向、将第1方向的放大率设为E1、将第2方向的放大率设为E2的情况下,射束整形部以由E2/E1定义的放大率比超过1的方式对激光的射束截面进行放大。

    激光系统和电子器件的制造方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113169507A

    公开(公告)日:2021-07-23

    申请号:CN201980079471.7

    申请日:2019-01-23

    IPC分类号: H01S3/10

    摘要: 本公开的一个观点的激光系统在固体激光装置与准分子放大器之间的光路上配置有随机相位板。随机相位板周期地排列有作为凹凸图案的最小单位区域的规定形状的单元,以单元的单位随机地配置凹部或凸部的区域。在将入射到准分子放大器的激光的射束行进方向设为Z方向、将放电方向设为V方向、将与V方向和Z方向正交的方向设为H方向、将随机相位板的与V方向对应的面内方向设为第1方向、将随机相位板的与H方向对应的面内方向设为第2方向、将单元的第1方向的长度设为d1、将单元的第2方向的长度设为d2的情况下,单元的由d2/d1定义的纵横比为1.2以上。

    激光系统和电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN113169507B

    公开(公告)日:2023-06-09

    申请号:CN201980079471.7

    申请日:2019-01-23

    IPC分类号: H01S3/10

    摘要: 本公开的一个观点的激光系统在固体激光装置与准分子放大器之间的光路上配置有随机相位板。随机相位板周期地排列有作为凹凸图案的最小单位区域的规定形状的单元,以单元的单位随机地配置凹部或凸部的区域。在将入射到准分子放大器的激光的射束行进方向设为Z方向、将放电方向设为V方向、将与V方向和Z方向正交的方向设为H方向、将随机相位板的与V方向对应的面内方向设为第1方向、将随机相位板的与H方向对应的面内方向设为第2方向、将单元的第1方向的长度设为d1、将单元的第2方向的长度设为d2的情况下,单元的由d2/d1定义的纵横比为1.2以上。

    激光装置和电子器件的制造方法
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115039298A

    公开(公告)日:2022-09-09

    申请号:CN202080095261.X

    申请日:2020-03-26

    IPC分类号: H01S3/10

    摘要: 本公开的一个观点的激光装置具有:主振荡器,其输出激光;放大器,其具有光谐振器,在光谐振器内放大由主振荡器输出的激光;以及相位偏移构造,其被配置于比主振荡器与放大器之间的光路的中间点靠放大器侧的光路上。相位偏移构造具有激光的相位的偏移量不同的多个单元,单元的配置间隔为80μm以上且275μm以下。

    激光系统和电子器件的制造方法
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113785453A

    公开(公告)日:2021-12-10

    申请号:CN201980095994.0

    申请日:2019-06-11

    IPC分类号: H01S3/10

    摘要: 本公开的一个观点的激光系统在固体激光装置与准分子放大器之间的光路上配置有射束整形部、随机相位板和准直光学系统。在将入射到准分子放大器的激光的行进方向设为Z方向、将一对放电电极的放电方向设为V方向、将与V方向和Z方向正交的方向设为H方向、将射束整形部的与V方向对应的整形方向设为第1方向、将射束整形部的与H方向对应的整形方向设为第2方向、将第1方向的放大率设为E1、将第2方向的放大率设为E2的情况下,射束整形部以由E2/E1定义的放大率比超过1的方式对激光的射束截面进行放大。