Invention Publication
- Patent Title: 提供反应室的方法、反应室和激光蒸发系统
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Application No.: CN202180093977.0Application Date: 2021-02-18
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Publication No.: CN116848286APublication Date: 2023-10-03
- Inventor: W·布劳恩 , J·曼哈特 , J·A·博施克
- Applicant: 马克斯·普朗克科学促进学会
- Applicant Address: 德国慕尼黑
- Assignee: 马克斯·普朗克科学促进学会
- Current Assignee: 马克斯·普朗克科学促进学会
- Current Assignee Address: 德国慕尼黑
- Agency: 北京市中伦律师事务所
- Agent 杨黎峰; 魏奇
- International Application: PCT/EP2021/053996 2021.02.18
- International Announcement: WO2022/174899 EN 2022.08.25
- Date entered country: 2023-08-16
- Main IPC: C23C14/24
- IPC: C23C14/24
Abstract:
本发明涉及一种为激光蒸发系统(100)提供反应室(10)的方法，所述反应室(10)包括至少一个壁部(20)，所述壁部具有面向所述激光蒸发系统(100)的反应体积(12)的内表面(22)。另外，本发明涉及一种用于激光蒸发系统(100)的反应室(10)，所述反应室(10)包括至少一个壁部(20)，所述壁部具有包围反应体积(12)的内表面(22)。此外，本发明涉及一种包括反应室(10)的激光蒸发系统(100)。
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IPC分类:
