本发明公开了一种变电站设备各指标权重的高可靠性分配方法及系统，包括：确定变电站设备待评估指标对象，确定处于同一层级的指标个数；通过m个专家对该层次的n个指标进行评估，构建初步评价矩阵；分别计算各专家给出的评估分数的平均值与方差，确定各专家分数中的合理分数和不合理分数；对不合理分数进行调节，得到改良后的评价矩阵；通过一致性检验判断改良后的评价矩阵是否符合要求，若是，得到该层次所有指标的权值；否则，重新进行专家打分。本发明对每一层指标的不合理分数值进行调整，并在调整完成后通过一致性检验判断评价矩阵是否存在问题，保障了变电站设备各层次指标权重的可靠性和合理性。