本发明提供了一种超纯水防静电装置，包括：具中空腔体的混合筒，分别设置于混合筒顶端与混合筒底端的出液筒与进液筒；混合筒侧部靠近出液筒一端与靠近进液筒一端分别开设进气口与出气口，并于混合筒内设置至少一个呈螺旋状且侧部开设若干孔洞以仅供气体渗透的管道，出液筒与进液筒分别开设连通管道顶端与管道底端的出液口与进液口。通过本发明，实现了二氧化碳与超纯水的充分溶合，还简化了对碳酸水电导率调节过程，以降低生产制造成本，并保证了电导率调节的准确性。