本发明公开了一种高温超润滑硅掺杂类金刚石碳膜及其制备方法与应用，属于表面处理技术领域。该高温超润滑硅掺杂类金刚石碳膜包括用于在基底表面依次设置的Cr打底层、CrxSiyCz梯度过渡层以及Si‑DLC功能层，该高温超润滑硅掺杂类金刚石碳膜具有较高的硬度和弹性模量。其可在高温摩擦过程中，于摩擦副处原位形成由非晶碳和SiOx组成的致密转移膜，有效降低涂层和摩擦副之间的摩擦系数，在高温大气环境下实现宏观尺度上的稳定超滑，有望将超滑技术推向工业应用。该高温超润滑硅掺杂类金刚石碳膜的制备具有设备简单、沉积温度低、工艺成熟、成膜均匀、重复性好等特点，极大拓宽了碳基薄膜潜在的应用场景。