一种微谐振子的光催化流体能场抛光装置及抛光方法
摘要:
本发明提供一种微谐振子的光催化流体能场抛光装置及抛光方法,包括机床和设置在机床上的主轴系统、控制系统、磁场系统和光催化系统,所述主轴系统的输出端与固定谐振子装置盘相连,固定谐振子装置盘上设置有若干用于夹持待抛光工件的封闭透光核壳体,所述封闭透光核壳体中设置有带有磁性磨粒的抛光液,加工过程中,所述封闭透光核壳体内部形成电磁场,所述光催化系统设置于主轴系统上方空间内,其用于通过光催化作用协助待抛光工件的抛光。本发明成功解决了微谐振子内外球面抛光效率低、表面质量差的技术难题,实现了微谐振子的超精密抛光。
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