一种内置磁场装置的光伏半导体单晶炉
摘要:
本发明涉及太阳能光伏、半导体单晶炉生产单晶装置领域,具体涉及一种内置磁场装置的光伏半导体单晶炉。一种内置磁场装置的光伏半导体单晶炉,包括:炉筒、坩埚、导流筒、第一保温层、第二保温层、磁场组件和顶升组件,所述磁场组件设置在所述炉筒内侧,和所述第一保温层、第二保温层外侧的空间。与现有技术相比,本申请提供的内置磁场单晶炉,不仅设备占地面积小,能耗低,而且减轻坩埚溶解,进而提高坩埚的使用寿命。
公开/授权文献
0/0