一种阵列式气敏膜及其并行制造方法
摘要:
本发明属于电子元器件制造领域,具体涉及一种阵列式气敏膜及其并行制造方法,该方法首次将气敏材料与光固化组分混合,制作成可光固化气敏浆料,通过雾化喷涂方法控制光固化浆料膜的厚度,再通过激光直写的方式,高精度的对光固化浆料膜进行选择性光固化成型以控制膜的长宽尺寸精度,可在基板表面得到膜厚高一致性、长宽尺寸高一致性的气敏膜,该气敏膜气敏响应性能好,并且即便多次重复叠加制造后仍能高度保持一致性。本发明的制造方法工艺灵活性高、可重复性高、制造效率高,可一次性制备出性能要求多样的气敏膜,可满足对复杂气氛的检测。
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