发明公开
CN116981334A 压电元件的制造方法
审中-公开
- 专利标题： 压电元件的制造方法
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申请号： CN202310450624.2申请日： 2023-04-24
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公开(公告)号： CN116981334A公开(公告)日： 2023-10-31
- 发明人: 高部本规 , 平井荣树
- 申请人： 精工爱普生株式会社
- 申请人地址： 日本东京
- 专利权人： 精工爱普生株式会社
- 当前专利权人： 精工爱普生株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京
- 代理机构： 北京金信知识产权代理有限公司
- 代理商 元靖雅; 权太白
- 优先权： 2022-074923 20220428 JP
- 主分类号： H10N30/06
- IPC分类号： H10N30/06 ; H10N30/077 ; H10N30/082
摘要：
本发明提供一种具备晶体取向性优异的压电体层的压电元件的制造方法。本发明的压电元件的制造方法具有：在基板上使第一电极成膜的第一成膜工序；在第一电极上使第一压电体层成膜的第二成膜工序；通过蚀刻法而对第一电极以及第一压电体层进行图案形成的第一加工工序；在第一加工工序后以覆盖第一电极、第一压电体层和基板的方式而使第二压电体层成膜的第三成膜工序。
