-
公开(公告)号：CN116981334A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202310450624.2
申请日：2023-04-24
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： H10N30/06 , H10N30/077 , H10N30/082
摘要： 本发明提供一种具备晶体取向性优异的压电体层的压电元件的制造方法。本发明的压电元件的制造方法具有：在基板上使第一电极成膜的第一成膜工序；在第一电极上使第一压电体层成膜的第二成膜工序；通过蚀刻法而对第一电极以及第一压电体层进行图案形成的第一加工工序；在第一加工工序后以覆盖第一电极、第一压电体层和基板的方式而使第二压电体层成膜的第三成膜工序。
-
公开(公告)号：CN115610105A
公开(公告)日：2023-01-17
申请号：CN202210811667.4
申请日：2022-07-11
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： B41J2/14
摘要： 本发明提供一种在液体喷出头中能够缩短从压力室至加热电阻体的距离且能够控制性良好地调节压力室内的油墨温度的液体喷出头、液体喷出装置。液体喷出头具备：压力室基板，其具有多个压力室；压电元件，其层叠在压力室基板上，且具备独立电极、共同电极及压电体，独立电极针对多个压力室的每一个而被独立地设置，共同电极针对多个压力室而被共同地设置，压电体在压电元件的层叠方向上被设置在独立电极与共同电极之间，并用于向压力室内的液体施加压力；驱动配线，其与独立电极及共同电极电连接，并用于将驱动压电体的电压施加给压电体；加热电阻体，其由与独立电极、共同电极、驱动配线中的任意一个相同的材料形成，并用于对压力室内的液体进行加热。
-
公开(公告)号：CN109484028B
公开(公告)日：2020-11-06
申请号：CN201811041578.6
申请日：2018-09-07
申请人： 精工爱普生株式会社
摘要： 本发明涉及一种液体喷射头、液体喷射装置及压电设备。液体喷射头具有：流道形成基板(10)；保护基板(30)，其被接合于所述流道形成基板(10)的所述一面侧并具有流道(31)；流道部件(40)，其被接合于所述保护基板(30)的与所述流道形成基板(10)相反一侧；驱动电路(120)，其被安装于由流道形成基板(10)、保护基板(30)和流道部件(40)包围而形成的空间(34)内；填充剂(121)，其被填充于所述驱动电路(120)与所述流道形成基板(10)、以及驱动电路(120)与保护基板(30)之间；保护膜(200)，其被形成于从保护基板(30)的所述流道的内壁起、至保护基板(30)的与流道部件(40)接合的接合面中的至少与所述内壁的边界侧为止，所述保护膜(200)具有露出孔(201)，所述露出孔(201)使所述填充剂(121)的表面的至少一部分露出。
-
公开(公告)号：CN107020819B
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201710063629.4
申请日：2017-02-03
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： B41J2/14
摘要： 本发明提供一种可靠性较高的MEMS装置以及液体喷射头。MEMS装置的特征在于，具备：多个可动区域(35)；配线(37)，其从可动区域(35)起沿着第一方向(x)延伸；电极(41)，其与配线(37)连接，电极(41)具有与其他的电极端子(40)连接的连接区域(57)，连接区域(57)沿着与第一方向(x)交叉的第二方向(y)而配置有多个，在第二方向(y)上相邻的连接区域(57)的中心间的距离长于在第二方向(y)上相邻的可动区域(35)的中心间的距离。
-
公开(公告)号：CN109318594B
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN201810834092.1
申请日：2018-07-26
申请人： 精工爱普生株式会社
摘要： 本发明提供一种能够抑制压电体中的裂缝的产生的液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件。液体喷射头具备收纳液体的压力室、构成所述压力室的壁面的振动板和使所述振动板进行振动的压电器件，其中，所述压电器件具备第一电极、压电体层、第二电极、与第二电极电连接的第一配线以及绝缘层，并且所述压电器件包含：所述第一电极、所述压电体层和所述第二电极以该顺序而被层压的第一层压区域；以及位于所述压电体层的第一端侧，且所述第一电极、所述压电体层、所述绝缘层和所述第一配线以该顺序而被层压的第二层压区域，所述压力室中的所述压电体层的所述第一端侧的壁面与所述振动板相交叉的第一压力室端部在俯视观察时与所述第二层压区域重叠。
-
公开(公告)号：CN109484033B
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201811044388.X
申请日：2018-09-07
申请人： 精工爱普生株式会社
摘要： 本发明提供一种液体喷射头、液体喷射装置及压电器件。具备：流道形成基板，其在第一方向上并排设置有多个压力产生室(12)；压电致动器(300)，其具有经由振动板而设置在所述流道形成基板的一面侧的第一电极(60)、设置在所述第一电极(60)上的压电体层(70)和设置在所述压电体层(70)上的第二电极(80)，在所述压电致动器(300)中，设置有所述压电体层(70)的由所述第一电极(60)和所述第二电极(80)夹持的主动部(320)，在所述第一方向(X)上彼此相邻的所述主动部(320)之间设置有槽部(330)，槽部(330)以跨及第二电极(80)、压电体层(70)、第一电极(60)和振动板(50)的层叠方向(Z)上的一部分的方式而被设置。
-
公开(公告)号：CN107042693B
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201710063636.4
申请日：2017-02-03
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： B41J2/14
摘要： 本发明提供一种能够抑制电串扰并实现小型化的压电器件、液体喷射头以及液体喷射装置。所述压电器件具备流道形成基板(10)和配线基板(30)，所述流道形成基板(10)具备多列压电元件列(150A)，所述压电元件列(150A)具有多个压电元件(150)，流道形成基板(10)具备与各个压电元件列(150A)的压电元件(150)共用的第二电极(80)连接的多个第一共用配线(92)，配线基板(30)具备与多个压电元件列(150A)各自的第一共用配线(92)连接的多个第二共用配线(32)以及被埋设在槽部(330)中的多个辅助配线(33)，辅助配线(33)与第二共用配线(32)分别连接，并且多个辅助配线(33)不相互连接。
-
公开(公告)号：CN107020843B
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201710063639.8
申请日：2017-02-03
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： B41J29/00
摘要： 本发明提供一种抑制了贯穿配线的位置偏移，且抑制了贯穿配线的高电阻化的配线基板、MEMS装置、液体喷射头以及液体喷射装置。本发明为在至少一个面上具有表面配线(31)的配线基板(30)，且具备：贯穿孔(303)，其贯穿配线基板(30)；贯穿配线(33)，其被形成在贯穿孔(303)中，且与表面配线(31)连接，贯穿孔(303)的内表面为粗糙面，贯穿配线(33)的电阻在表面配线(31)的电阻以下。
-
公开(公告)号：CN109484031A
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201811042820.1
申请日：2018-09-07
申请人： 精工爱普生株式会社
摘要： 本发明提供一种在抑制振动板的位移量的降低的同时确保振动板的强度的液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件。液体喷射头具备：喷嘴，其对液体进行喷射；流道基板，其形成有与所述喷嘴连通的压力室和与所述压力室连通的液体供给室；振动板，其被设置于所述流道基板上，且与所述压力室和所述液体供给室重叠；以及压电元件，其被形成于所述振动板中的与所述压力室相反的一侧，所述振动板中的与所述压力室重叠的部分的厚度和所述振动板中的与所述液体供给室重叠的部分的厚度相比而较薄。
-
公开(公告)号：CN107428166A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201680014404.3
申请日：2016-03-22
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： B41J2/14
摘要： 一种喷墨头，包括：压力室形成板，其在第一方向上形成有各自与喷嘴连通的多个压力室；振动板，其限定每个压力室的一个表面并允许其限定区域的变形；压电元件，其是通过从振动板的与所述压力室相反的表面在对应于所述压力室的区域中依次堆叠第一电极层、压电层和第二电极层而形成；电路板，其与所述振动板成间隔布置，多个凸块电极介于所述电路板与所述振动板之间，并且所述电路板输出用于驱动所述压电元件的信号；以及粘合剂，其将所述压力室形成板与所述电路板接合，其中所述压电元件的至少一侧的元件端形成在所述限定区域的外侧，并且在与所述第一方向正交的第二方向上由所述粘合剂覆盖。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
87 条记录 (耗时 0.041 秒)
