一种带有悬浮桥的高灵敏度的SNSPD
摘要:
本发明公开了一种带有悬浮桥结构的高灵敏度SNSPD,在热氧化硅衬底上,使用反应磁控溅射制备NbN薄膜;在NbN薄膜上旋涂光刻胶AZ1500,使用深紫外曝光的方式绘制电极图形,使用Ti薄膜和Au薄膜来制备电极;在Ti薄膜和Au薄膜上,通过电子束曝光的方式绘制纳米线图形;利用反应离子刻蚀的方式,去除未被保护的NbN薄膜,进而制备出纳米线;在NbN薄膜上旋涂光刻胶AZ4620,利用深紫外曝光的方式制备刻蚀的窗口;根据所需要的灵敏度要求确定出悬浮桥的尺寸,通过控制刻蚀的时间,去除纳米线下方的硅衬底,从而形成具有不同尺寸悬浮桥的结构。本发明结构简单,能够明显调控SNSPD的探测灵敏度,并且这种结构也不会降低探测器的其他性能。
0/0