发明公开
- 专利标题: 一种带有悬浮桥的高灵敏度的SNSPD
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申请号: CN202310765114.4申请日: 2023-10-08
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公开(公告)号: CN116995112A公开(公告)日: 2023-11-03
- 发明人: 贾小氢 , 徐韬 , 鲍涵 , 朱广浩 , 涂学凑 , 张蜡宝 , 赵清源 , 康琳 , 陈健 , 吴培亨
- 申请人: 南京大学
- 申请人地址: 江苏省南京市栖霞区仙林大道163号
- 专利权人: 南京大学
- 当前专利权人: 南京大学
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市栖霞区仙林大道163号
- 代理机构: 南京理工大学专利中心
- 代理商 封睿
- 主分类号: H01L31/024
- IPC分类号: H01L31/024 ; H01L31/09 ; H01L31/18 ; B82Y40/00 ; B82Y15/00
摘要:
本发明公开了一种带有悬浮桥结构的高灵敏度SNSPD,在热氧化硅衬底上,使用反应磁控溅射制备NbN薄膜;在NbN薄膜上旋涂光刻胶AZ1500,使用深紫外曝光的方式绘制电极图形,使用Ti薄膜和Au薄膜来制备电极;在Ti薄膜和Au薄膜上,通过电子束曝光的方式绘制纳米线图形;利用反应离子刻蚀的方式,去除未被保护的NbN薄膜,进而制备出纳米线;在NbN薄膜上旋涂光刻胶AZ4620,利用深紫外曝光的方式制备刻蚀的窗口;根据所需要的灵敏度要求确定出悬浮桥的尺寸,通过控制刻蚀的时间,去除纳米线下方的硅衬底,从而形成具有不同尺寸悬浮桥的结构。本发明结构简单,能够明显调控SNSPD的探测灵敏度,并且这种结构也不会降低探测器的其他性能。
IPC分类: