一种倒装式力传感器阵列
摘要:
本发明提供了一种倒装式力传感器阵列,包括阵列式MEMS力传感器和柔性电路板。阵列式MEMS力传感器由m×n个MEMS力传感器组成,其中m≥1,n≥1;MEMS力传感器,选用十字梁结构,由力感应薄膜、惠斯通敏感电桥、框架和电极组成,力感应薄膜位于十字梁中心位置,惠斯通敏感电桥由四个电阻条组成,电阻条方式一致,分别位于十字梁应力最大区域内。四个电极由硅片刻蚀而成,分布在框架的四个直角位置;柔性电路板上分布m×n个MEMS力传感器封装焊盘,每个封装焊盘包括四个pad和一个凸点,凸点位于封装焊盘的中心位置。被测力通过柔性板上金属凸点直接传递至MEMS力传感器敏感区,实现压力的精确测量。
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