本发明提供了一种表面活化液及其键合应用，属于表面活化液及键合技术领域。本发明提供了一种用于砷化镓衬底键合蓝宝石衬底的表面活化液，其配方为：KOH、甘油、去离子水；其中，所述KOH的浓度为3.2‑4.0mol/L；活化液配制时，采用KOH溶液或晶体、以甘油和去离子水的混合溶液作为稀释液进行配制，甘油与去离子水的体积比为1:(2.5‑5)。本发明制备的表面活化液用于砷化镓衬底键合蓝宝石衬底，其不会腐蚀砷化镓衬底，反应过程不放热，所以不会出现因腐蚀导致砷化镓衬底不平整的问题，减少了键合时受压不均匀的缺陷，大幅度提升了键合良率。