一种五轴超精密机床几何误差分配方法，涉及一种机床误差分配方法。设计五轴超精密机床；建立几何误差模型；设置几何误差的取值范围并全局敏感性分析；参考分析结果设置精度边界条件和成本边界条件；将边界条件作为约束使用群优化算法对几何误差进行分配；建立误差综合模型，设计机床五个轴系的运动轨迹，将几何误差分配结果作为驱动，计算工件端和刀具端三个方向的距离；使用误差综合模型计算在没有误差时工件端和刀具端三个方向的距离；计算空间几何误差值调整边界条件直至满足设计指标。综合考虑了误差分配过程中的精度边界条件和成本边界条件，保证机床加工精度的同时，有助于确保机床制造成本不超标。