发明授权
- 专利标题: 一种半导体加工用对准焊接装置
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申请号: CN202311272181.9申请日: 2023-09-28
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公开(公告)号: CN117066690B公开(公告)日: 2024-01-23
- 发明人: 聂新明 , 赵波
- 申请人: 苏师大半导体材料与设备研究院(邳州)有限公司
- 申请人地址: 江苏省徐州市邳州市邳州经济开发区辽河西路88号
- 专利权人: 苏师大半导体材料与设备研究院(邳州)有限公司
- 当前专利权人: 苏师大半导体材料与设备研究院(邳州)有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省徐州市邳州市邳州经济开发区辽河西路88号
- 代理机构: 江苏长德知识产权代理有限公司
- 代理商 刘传玉
- 主分类号: B23K26/21
- IPC分类号: B23K26/21 ; B23K26/70 ; B23K101/40
摘要:
本发明公开了一种半导体加工用对准焊接装置,涉及半导体加工技术领域,该装置公开了焊接架,所述焊接架上滑动安装有两个移动块,所述移动块上转动安装有旋接杆,两个旋接杆均转动连接移动架,所述移动架上滑动安装有两个焊头架,所述焊头架上固定安装有激光焊接头,所述焊接架上固定安装有显示屏,设置两个可以调节间距的激光焊接头,可以对半导体与两个衬底的焊接面进行同步焊接,在满足不同厚度半导体的焊接基础上,提高半导体的焊接加工效率,在旋转架上设置多个定底组件以及定底块,满足不同大小的衬底的安装,设置可以双轴方向移动的气动手指,方便将半导体对准安装在两个衬底之间。
公开/授权文献
- CN117066690A 一种半导体加工用对准焊接装置 公开/授权日:2023-11-17
IPC分类: