Invention Publication
- Patent Title: 一种用于化合物半导体单晶的低位错生长装置
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Application No.: CN202311080548.7Application Date: 2023-08-25
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Publication No.: CN117071052APublication Date: 2023-11-17
- Inventor: 史艳磊 , 孙聂枫 , 王书杰 , 秦敬凯 , 徐成彦 , 岳琳清 , 付莉杰 , 张鑫 , 康永 , 赵红飞 , 李亚旗 , 张晓丹 , 姜剑
- Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
- Applicant Address: 河北省石家庄市新华区合作路113号
- Assignee: 中国电子科技集团公司第十三研究所
- Current Assignee: 中国电子科技集团公司第十三研究所
- Current Assignee Address: 河北省石家庄市新华区合作路113号
- Agency: 石家庄众志华清知识产权事务所
- Agent 王苑祥
- Main IPC: C30B11/00
- IPC: C30B11/00

Abstract:
本发明提出了一种用于化合物半导体单晶的低位错生长装置,属于晶体制备技术领域,所述生长装置包括密闭的炉体、炉体的坩埚、籽晶杆、观察窗、多段加热器和覆盖剂移除装置,所述覆盖剂移除装置包括回收器、回收器管脚;本发明在晶体长成之后、退火之前,将液态覆盖剂通过覆盖剂移除装置移除,在后续工艺过程中,不会由于覆盖剂的凝固造成晶体缺陷。本发明提出的装置具备直拉法生长大直径、低成本的优势,同时又具备垂直梯度凝固法晶体的低位错缺陷的优势,具有很强的实用性。
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