本申请涉及谐振器技术领域，公开一种声表面波谐振器，包括：衬底，用于声电换能；衬底的外表面设置有叉指电极结构和温度补偿层；叉指电极结构，通过施加电压以激励声电换能；温度补偿层，包裹叉指电极结构；电子元件，位于叉指电极结构的反射栅区；且电子元件部分或全部包裹于温度补偿层中；电子元件包括电感器或电容器。这样，将电感器或电容器设置在叉指电极结构的反射栅区，而不是设置在叉指电极结构的非反射栅区，能够不影响声表面波谐振器的声速。本申请还公开一种MEMS设备。