一种功率半导体封装结构及其阀串结构
Abstract:
本发明提供了一种功率半导体封装结构,属于功率半导体技术领域,该功率半导体封装结构的主体中设有芯片单元,主体上设有对芯片单元进行液冷散热的冷却腔。本申请还提供包括上述半导体封装结构的阀串结构。该半导体封装结构通过冷却腔对芯片单元进行液冷散热,能够提高半导体封装结构的散热能力和对短时电流过冲的耐受能力。该半导体组件通过散热腔中的绝缘油进行散热,提升了组件内部绝缘介质的介电强度,从而有效减小半导体组件的体积和寄生参数,另外还能够提升器件内部的绝缘性能。
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