Invention Grant
- Patent Title: 一种籽晶粘贴室用新风装置
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Application No.: CN202311237420.7Application Date: 2023-09-22
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Publication No.: CN117101363BPublication Date: 2024-06-07
- Inventor: 张哲 , 吕芳栋 , 罗鸿 , 卫元元
- Applicant: 通威微电子有限公司
- Applicant Address: 四川省成都市双流区成都芯谷产业园区集中区内
- Assignee: 通威微电子有限公司
- Current Assignee: 通威微电子有限公司
- Current Assignee Address: 四川省成都市双流区成都芯谷产业园区集中区内
- Agency: 北京超凡宏宇知识产权代理有限公司
- Agent 陈秋梦
- Main IPC: B01D53/26
- IPC: B01D53/26

Abstract:
本发明公开了一种籽晶粘贴室用新风装置,涉及新风技术领域。该籽晶粘贴室用新风装置包括主体及一级除湿模块,主体具有新风通道,新风通道具有进风端与出风端;一级除湿模块包括集风罩、空压机、压缩机、冷媒冷凝器、冷媒蒸发器及匀流罩,集风罩、空压机、冷媒蒸发器在新风通道内由进风端至出风端依次排布;集风罩用于将新风导入空压机,匀流罩用于将空压机输出的新风均匀扩散入新风通道并流向出风端;压缩机、冷媒冷凝器及冷媒蒸发器通过冷媒管路依次连接形成循化回路,冷媒蒸发器具有组成新风管路一部分的新风管段,以及组成冷媒管路一部分的第一冷媒管段。本发明提供的籽晶粘贴室用新风装置能够为籽晶粘贴室提供满足要求的低湿度新风。
Public/Granted literature
- CN117101363A 一种籽晶粘贴室用新风装置 Public/Granted day:2023-11-24
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IPC分类: