本发明提供一种用于大批量加工微小型轴承挡片的化学机械抛光设备及方法，包括夹具体以及与夹具配套使用的工作台体，夹具体中设有中空腔室，所述夹具体具有若干圆周均匀分布的小孔，且小孔中还具有连接中空腔室的抽真空通道，通过对中空腔室抽真空的方式完成夹具体的小孔对待抛光轴承挡片的装夹，所述夹具体外轮廓为轮齿结构，所述工作台体为具有内齿轮结构的抛光台，传动装置与抛光台相连。本发明解决了微小轴承挡片抛光时难以夹持的问题，夹具体可一次性装夹300～400甚至更多微小型轴承挡片，满足了该型轴承挡片大批量加工的生产需求，两夹具体交接过程简单准确，大大缩短工件装夹时间，有效提高加工效率。