一种高精度X射线测试方法
摘要:
本发明涉及射线测厚技术领域,具体提供了一种高精度X射线测试方法,通过获取工件长度S、工件设计厚度T、工件吸收系数μ和测量精度参数P,并获取反射层间距H和反射次数N;将工件放置于两个相互平行的反射层之间,两个反射层之间的间距为H;发射器以倾斜角度θ2向工件发射射线强度为E0的X射线,通过探测器接收X射线并获取接收时的接收强度E1,其中,θ2=arctanP/H);计算工件的测试平均厚度D=‑(LnE1‑LnE0/μN)*cosθ2。通过发射一次X射线,使得X射线在两个反射层之间进行多次反射并穿过工件多次,最终求得工件的平均厚度,提高了工件厚度的测定效率。
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