本发明提出了一种晶圆检测平台的接料机构及其使用方法，包括谐波一体机，所述谐波一体机上设置有模组底板，所述模组底板上设置有顶升组件和接料组件，所述顶升组件与所述接料组件抵接，所述接料组件上设置有检测平台的安装板，所述接料组件可拆卸连接在所述安装板的底壁，所述谐波一体机与所述安装板可拆卸连接，当所述谐波一体机工作旋转时，带动所述接料组件和所述安装板一起转动。本发明解决了中置驱动平台旋转时，接料组件的布置问题，大大降低了检测平台的高度，简化了结构。