一种基于统计量迭代的晶圆黄金图生成方法，它涉及一种晶圆黄金图生成方法。本发明为了解决传统的基于空域形态学处理的方法对待检测晶圆进行了尺寸分析，然而该方法的计算结果容易受到划痕、光照不均匀等因素的影响，鲁棒性不高的问题。本发明的步骤包括步骤1、对晶粒形态进行分析；步骤2、采用自适应多尺度滤波的方法来实现光照的统一化；步骤3、对图像序列进行基于特征的配准来实现图像对齐，并采用统计量迭代的方法去除图像序列中的奇异点；步骤4、生成无缺陷的晶圆黄金图。本发明属于图像处理技术领域。