本发明涉及晶舟盒技术领域，且公开了一种硅片夹持装置，包括晶舟盒主体，所述晶舟盒主体顶部的两侧连接有挡板，挡板的顶部连接有钩挂框架。该种硅片夹持装置，在对硅片进行加工时，先通过钩挂框架将晶舟盒主体钩挂在设备上，然后支撑架放下，使支撑架的底部支撑在反应炉的顶部上，随后通过设备将晶舟盒主体缓慢放下，在晶舟盒主体以及内部硅片的重量作用下，位于晶舟盒主体底部的左托盘和右托盘被撑开，从而方便晶舟盒落入反应炉内进行化学气相沉积，而在硅片加工完成后，通过设备将晶舟盒主体吊起，在晶舟盒主体向上移动的过程中，左托盘和右托盘会重新回到原位置，进而承接晶舟盒主体以及硅片滴落的化学药剂，避免造成污染。