发明公开
- 专利标题: 一种梯度结构的弥散强化高熵合金氮化物陶瓷涂层及其制备方法
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申请号: CN202311154927.6申请日: 2023-09-08
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公开(公告)号: CN117187747A公开(公告)日: 2023-12-08
- 发明人: 杨俊峰 , 左黎 , 张临超 , 许依春 , 谢卓明 , 王先平 , 吴学邦 , 刘长松
- 申请人: 中国科学院合肥物质科学研究院
- 申请人地址: 安徽省合肥市蜀山区蜀山湖路350号
- 专利权人: 中国科学院合肥物质科学研究院
- 当前专利权人: 中国科学院合肥物质科学研究院
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市蜀山区蜀山湖路350号
- 代理机构: 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司
- 代理商 卢敏
- 主分类号: C23C14/14
- IPC分类号: C23C14/14 ; C23C14/32 ; C23C14/35 ; C23C14/34 ; C23C14/06
摘要:
本发明公开了一种梯度结构的弥散强化高熵合金氮化物陶瓷涂层及其制备方法,是利用多弧离子镀与磁控溅射复合的方法在衬底上依次沉积Cr薄膜与FeCrAlTi薄膜后,再通过在氮气氛围下溅射FeCrAlTiSi靶获得FeCrAlTiSi‑N薄膜。本发明所得涂层具有高膜基结合强度、高硬度和优异耐磨性和耐液态铅铋腐蚀性能。
IPC分类: