本发明提供的一种温度自补偿式光栅位移传感器，其特征在于：包括位移传递部件、位移感知部件和设置于位移感知部件的光栅；所述位移传递部件用于在被测目标产生位移时驱动位移感知部件动作使位移感知部件产生变形量；所述光栅在位移感知部件产生变形量时用于感知光信号的波长变化量并输出，通过上述结构，能够在被测目标的位移监测时同时感知温度的变化量，从而剔除光信号波长变化量中温度变化引起的变化量，从而能够得到准确的位移，从而有效提升位移监测的精确性，而且能够适应于微小位移的精确测量，适应能力强，而且结构简单，成本低廉。