本发明公开了一种垂直腔面发射激光器，包括：多个发光单元、围绕各发光单元的沟槽设置区和平坦区；沟槽设置区和平坦区间隔设置；任意相邻的两个发光单元共用一个平坦区，任意彼此相邻的至少三个发光单元共用一个沟槽设置区；沟槽设置区设置有氧化沟槽，平坦区不设置氧化沟槽，能够在保证对电流限制层的氧化效果，以保证发光单元的发光效果的基础上，减小各发光单元之间的距离，能够提高发光单元的集成度，从而有效提高了激光器单位面积的发光亮度，便于实现垂直腔面发射激光器的小型化设计。