发明公开
CN117245221A 制造掩模组件的方法
审中-公开
- 专利标题： 制造掩模组件的方法
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申请号： CN202310706284.5申请日： 2023-06-14
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公开(公告)号： CN117245221A公开(公告)日： 2023-12-19
- 发明人: 李娥凜 , 金辉 , 黄圭焕 , 金桢国 , 宋昇勇 , 赵恩翡
- 申请人： 三星显示有限公司
- 申请人地址： 韩国京畿道
- 专利权人： 三星显示有限公司
- 当前专利权人： 三星显示有限公司
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道
- 代理机构： 北京德琦知识产权代理有限公司
- 代理商 宋颖娉; 康泉
- 优先权： 10-2022-0074334 2022.06.17 KR
- 主分类号： B23K26/362
- IPC分类号： B23K26/362 ; H10K71/16 ; H10K71/60 ; H10K59/12 ; H01L27/15 ; H01L33/00 ; B23K31/02 ; B23K26/00 ; C23C14/04 ; C23C14/24 ; C23F1/02
摘要：
本发明提供了制造掩模组件的方法。该方法包括：准备包括开口区域的掩模框架；在掩模片的中心的第一区域中形成第一组的开口；将掩模片张紧并且将掩模片固定到所述掩模框架；以及在掩模片的第二区域中形成第二组的开口。第二区域围绕第一区域。
IPC分类:
