掩模、具有该掩模的掩模组件以及修复该掩模的方法

    公开(公告)号:CN117248177A

    公开(公告)日:2023-12-19

    申请号:CN202310720607.6

    申请日:2023-06-16

    摘要: 公开了一种掩模、具有该掩模的掩模组件以及一种修复掩模的方法。所述方法包括:提供掩模,掩模包括母构件、多个第一开口以及与多个第一开口中的一个相邻并且具有与多个第一开口中的每个的尺寸不同的尺寸的过加工开口,多个第一开口中的每个和过加工开口限定在母构件中;通过将第一激光束照射到围绕母构件的过加工开口的区域,在过加工开口的至少一部分中形成补充部分;以及通过将第二激光束照射到补充部分,在母构件中形成彼此间隔开的多个第二开口。

    掩模组件
    2.
    发明公开
    掩模组件 审中-公开

    公开(公告)号:CN116136012A

    公开(公告)日:2023-05-19

    申请号:CN202211411617.3

    申请日:2022-11-11

    IPC分类号: C23C14/04 C23C14/24 C25D1/10

    摘要: 提供了一种掩模组件,所述掩模组件包括:框架,包括框架开口;以及掩模,设置在框架上。掩模包括:主体部分,包括彼此相对的上表面和下表面以及彼此间隔开的沉积开口;突起,从上表面突出并且围绕对应的沉积开口;以及至少一个台阶形成图案,在平面图中与突起叠置并且设置在主体部分中。

    掩模组件及其维修方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116079331A

    公开(公告)日:2023-05-09

    申请号:CN202211264867.9

    申请日:2022-10-17

    IPC分类号: B23P6/00 C23C14/04

    摘要: 本发明涉及一种掩模组件及其维修方法。掩模组件的维修方法包括如下步骤:提供掩模组件,所述掩模组件包括框架、开放式掩模及第一单元掩模,所述开放式掩模定义有第一开放式开口部并布置于所述框架的上表面,所述第一单元掩模定义有与所述第一开放式开口部重叠的多个第一沉积开口部并布置于所述开放式掩模的上表面;在所述第一单元掩模的外侧第一次切割所述开放式掩模,以定义具有大于所述第一开放式开口部的面积的第二开放式开口部;以及将定义有与所述第一沉积开口部对应的多个第二沉积开口部的第二单元掩模结合于所述第一次切割后的所述开放式掩模。

    金属掩模和通过使用其制造的显示设备

    公开(公告)号:CN114075647A

    公开(公告)日:2022-02-22

    申请号:CN202110929772.3

    申请日:2021-08-13

    摘要: 本发明涉及金属掩模和通过使用其制造的显示设备。金属掩模包括第一区,在第一区中限定了彼此间隔开的多个主开口;和第二区,在第二区中限定了彼此间隔开并且具有与主开口的平面面积不同的平面面积的多个子开口。这里,在第一方向上彼此相邻的多个主开口中的主开口和多个子开口中的子开口之间的间隙等于或大于多个主开口中的在第一方向上彼此相邻的主开口的间隙的约0.5倍,并且等于或小于多个主开口中的在第一方向上彼此相邻的主开口的间隙的约5.0倍。

    制造掩模组件的方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116643446A

    公开(公告)日:2023-08-25

    申请号:CN202310182278.4

    申请日:2023-02-20

    摘要: 公开了掩模组件的制造方法。所述掩模组件的制造方法包括以下步骤:将掩模片张紧;将张紧的掩模片与掩模框架连接;以及在张紧的掩模片中限定开口加工区域以形成分别对应于开口加工区域的开口。限定开口加工区域的步骤包括:在第一方向和与第一方向交叉的第二方向上在张紧的掩模片中限定初始开口加工区域,以确定初始开口加工区域的加工顺序;基于加工顺序,计算在初始开口加工区域中的每个中累积的累积变形量;以及基于累积变形量,校正初始开口加工区域中的每个的尺寸和位置。

    用于制造显示设备的装置、掩模组件和制造显示设备的方法

    公开(公告)号:CN117305764A

    公开(公告)日:2023-12-29

    申请号:CN202310757246.2

    申请日:2023-06-26

    IPC分类号: C23C14/04 H10K71/16 C23C16/04

    摘要: 本申请涉及用于制造显示设备的装置、掩模组件和制造显示设备的方法。用于制造显示设备的装置包括掩模组件,掩模组件包括:掩模框架,包括开口区域;至少一个屏蔽棒,跨掩模框架的开口区域在张紧状态下固定在掩模框架上;以及多个掩模片,覆盖掩模框架的开口区域的至少部分并且至少部分地与至少一个屏蔽棒重叠。至少一个屏蔽棒包括:第一屏蔽构件;第二屏蔽构件,至少部分地与第一屏蔽构件重叠;以及第三屏蔽构件,至少部分地与第一屏蔽构件重叠。第二屏蔽构件和第三屏蔽构件设置在第一屏蔽构件上方,并且相比于第一屏蔽构件靠近多个掩模片,第二屏蔽构件和第三屏蔽构件更靠近多个掩模片。

    掩模组件和掩模替换方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117089807A

    公开(公告)日:2023-11-21

    申请号:CN202310486560.1

    申请日:2023-04-28

    IPC分类号: C23C14/04 C23C16/04

    摘要: 提供了一种掩模组件和掩模替换方法,所述掩模替换方法包括:设置掩模组件,掩模组件包括包含开口的框架、设置在框架上的第一掩模以及在平面图中与第一掩模叠置的第一焊接部;从框架去除第一掩模;以及在其上设置有第一焊接部的框架上形成第二掩模和在平面图中与第二掩模叠置的第二焊接部。第一焊接部可以与第二掩模间隔开,并且第一焊接部和第二焊接部可以在一方向上布置。