连续式ALN划线片清洗设备及其清洗方法
Abstract:
本申请涉及连续式ALN划线片清洗设备,基座开设有第一内腔,第一清洗箱为两个,两个第一清洗箱中一者和另一者、第二清洗箱、第三清洗箱和吹扫机构依次设于基座上、且均位于第一内腔中,抓取机构可移动地设于第一内腔中,上料机构与两个第一清洗箱中一者相对设置,下料机构与吹扫机构相对设置,基座依次设置有多个超声振荡器,多个超声振荡器与两个第一清洗箱中、第二清洗箱和第三清洗箱一一对应。上述方案能够解决相关操作中,氮化铝陶瓷基板在划线清洗后表面的酸液残留、以及在经历两次清洗工序后会有部分浮粉漂浮在清洗介质上,进而导致氮化铝陶瓷基板从清洗介质中取出再次附着的问题。
Patent Agency Ranking
0/0