Invention Publication
- Patent Title: 连续式ALN划线片清洗设备及其清洗方法
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Application No.: CN202311071757.5Application Date: 2023-08-23
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Publication No.: CN117259327APublication Date: 2023-12-22
- Inventor: 袁振侠 , 买成吉 , 徐学磊 , 李大海 , 关玉龙
- Applicant: 宁夏北瓷新材料科技有限公司
- Applicant Address: 宁夏回族自治区银川市贺兰工业园区暖泉洪运东路宁夏龙翔新材料孵化园西区4号厂房
- Assignee: 宁夏北瓷新材料科技有限公司
- Current Assignee: 宁夏北瓷新材料科技有限公司
- Current Assignee Address: 宁夏回族自治区银川市贺兰工业园区暖泉洪运东路宁夏龙翔新材料孵化园西区4号厂房
- Agency: 宁夏君创未来专利代理事务所
- Agent 周晓梅
- Main IPC: B08B3/12
- IPC: B08B3/12 ; F26B23/04 ; F25D31/00 ; B08B3/08 ; B08B3/10 ; B08B13/00 ; B08B5/02

Abstract:
本申请涉及连续式ALN划线片清洗设备,基座开设有第一内腔,第一清洗箱为两个,两个第一清洗箱中一者和另一者、第二清洗箱、第三清洗箱和吹扫机构依次设于基座上、且均位于第一内腔中,抓取机构可移动地设于第一内腔中,上料机构与两个第一清洗箱中一者相对设置,下料机构与吹扫机构相对设置,基座依次设置有多个超声振荡器,多个超声振荡器与两个第一清洗箱中、第二清洗箱和第三清洗箱一一对应。上述方案能够解决相关操作中,氮化铝陶瓷基板在划线清洗后表面的酸液残留、以及在经历两次清洗工序后会有部分浮粉漂浮在清洗介质上,进而导致氮化铝陶瓷基板从清洗介质中取出再次附着的问题。
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