一种液体中磁性悬浮物微谐振式质量传感器及检测方法
摘要:
的分离。本发明涉及一种液体中磁性悬浮物微谐振式质量传感器及检测方法,包括:电路板、控制单元、供能单元、接收单元、电压控制单元、数模转化单元、输出单元、检测单元,检测单元包括R形正交微悬臂梁、压电驱动机构、拾振机构、磁性吸附层、绝缘膜,压电驱动机构通过运算放大器供电驱动微悬臂梁振动,拾振机构用于将振动信号转为电压信号传输至接收单元,绝缘膜用于阻碍磁性吸附层在使用前吸附杂物造成检测误差,磁性吸附层用于吸附液体内磁性悬浮物;本发明的优点是:通过将悬臂梁主梁后端浸没在液体中来(56)对比文件Dong F. Wang等.A Passive Sensing-Wireless Transmitting Scheme Demonstratedby Integrating a Magnetic Cantilever Witha Microstrip Patch for DC CurrentMonitoring《.IEEE TRANSACTIONS ONINSTRUMENTATION AND MEASUREMENT》.2023,第第72卷卷全文.Alexander Dabsch1等.MEMS cantileverbased magnetic field gradient sensor.《Journal of Micromechanics andMicroengineering》.第第27卷卷全文.王天华;张辉;周凤梅;张仲宁;吴浩东;张淑仪.1mm管式悬臂梁结构微型超声马达研究.南京大学学报(自然科学版).2007,(第04期),全文.俞锋;李昕欣;于海涛.平面内谐振式微悬臂梁生化传感器的设计与制造.传感技术学报.2012,(第07期),全文.杨冰,杨银堂,李跃进.PZT压电薄膜在微传感器中的应用.传感器技术.2003,(第12期),全文.
0/0