公开(公告)号：CN117269323B

公开(公告)日：2024-02-13

申请号：CN202311567431.1

申请日：2023-11-23

申请人： 吉林大学

发明人： 王东方 ,  盖丁 ,  窦心茹 ,  王继松 ,  曲松 ,  王昕

IPC分类号： G01N29/12 ,  G01L1/16 ,  G01N5/02 ,  G01N29/22 ,  G01G3/16

摘要： 的分离。本发明涉及一种液体中磁性悬浮物微谐振式质量传感器及检测方法，包括：电路板、控制单元、供能单元、接收单元、电压控制单元、数模转化单元、输出单元、检测单元，检测单元包括R形正交微悬臂梁、压电驱动机构、拾振机构、磁性吸附层、绝缘膜，压电驱动机构通过运算放大器供电驱动微悬臂梁振动，拾振机构用于将振动信号转为电压信号传输至接收单元，绝缘膜用于阻碍磁性吸附层在使用前吸附杂物造成检测误差，磁性吸附层用于吸附液体内磁性悬浮物；本发明的优点是：通过将悬臂梁主梁后端浸没在液体中来(56)对比文件Dong F. Wang等.A Passive Sensing-Wireless Transmitting Scheme Demonstratedby Integrating a Magnetic Cantilever Witha Microstrip Patch for DC CurrentMonitoring《.IEEE TRANSACTIONS ONINSTRUMENTATION AND MEASUREMENT》.2023,第第72卷卷全文.Alexander Dabsch1等.MEMS cantileverbased magnetic field gradient sensor.《Journal of Micromechanics andMicroengineering》.第第27卷卷全文.王天华;张辉;周凤梅;张仲宁;吴浩东;张淑仪.1mm管式悬臂梁结构微型超声马达研究.南京大学学报(自然科学版).2007,(第04期),全文.俞锋;李昕欣;于海涛.平面内谐振式微悬臂梁生化传感器的设计与制造.传感技术学报.2012,(第07期),全文.杨冰,杨银堂,李跃进.PZT压电薄膜在微传感器中的应用.传感器技术.2003,(第12期),全文.

公开(公告)号：CN117269323A

公开(公告)日：2023-12-22

申请号：CN202311567431.1

申请日：2023-11-23

申请人： 吉林大学

发明人： 王东方 ,  盖丁 ,  窦心茹 ,  王继松 ,  曲松 ,  王昕

IPC分类号： G01N29/12 ,  G01L1/16 ,  G01N5/02 ,  G01N29/22 ,  G01G3/16

摘要： 本发明涉及一种液体中磁性悬浮物微谐振式质量传感器及检测方法，包括：电路板、控制单元、供能单元、接收单元、电压控制单元、数模转化单元、输出单元、检测单元，检测单元包括R形正交微悬臂梁、压电驱动机构、拾振机构、磁性吸附层、绝缘膜，压电驱动机构通过运算放大器供电驱动微悬臂梁振动，拾振机构用于将振动信号转为电压信号传输至接收单元，绝缘膜用于阻碍磁性吸附层在使用前吸附杂物造成检测误差，磁性吸附层用于吸附液体内磁性悬浮物；本发明的优点是：通过将悬臂梁主梁后端浸没在液体中来感知液体中磁性悬浮物质量，并同时收集末端浸没在液体中的主梁后端及裸露在空气中的副梁上的内共振信息来进行检测，实现了传感与检测的分离。