- 专利标题: 一种基于氮化硅脊形光波导的片上集成偏振分束器
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申请号: CN202311188989.9申请日: 2023-09-15
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公开(公告)号: CN117289390B公开(公告)日: 2024-08-06
- 发明人: 马钰洁 , 郑鑫智 , 赵晨淅 , 阮双琛 , 周沧涛 , 项炳锡
- 申请人: 深圳技术大学
- 申请人地址: 广东省深圳市坪山区兰田路3002号
- 专利权人: 深圳技术大学
- 当前专利权人: 深圳技术大学
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市坪山区兰田路3002号
- 代理机构: 天津市北洋有限责任专利代理事务所
- 代理商 李素兰
- 主分类号: G02B6/126
- IPC分类号: G02B6/126 ; G02B6/125 ; G02B6/12
摘要:
本发明公开了一种基于氮化硅脊形光波导的片上集成偏振分束器,包括基底(12)和设置在基底(12)上的TM偏振分束器和TE偏振分束器;TM偏振分束器进一步包括相连的第一直线光波导(1)和折弯光波导(6),通过THROUGH输出端口(10)输出TM0偏振模式;所述TE偏振分束器进一步包括相连的三条直线光波导耦合成的定向耦合光波导结构(13)、一条锥形光波导(4)和一条弯曲光波导(5),通过CROSS输出端口(11)输出TE0偏振模式。所述TM偏振分束器和TE偏振分束器中的组成光波导均采用氮化硅脊形光波导。与现有技术相比,本发明在可见光波段实现宽光谱范围的、超高消光比的偏分复用,为偏分复用在透明集成光子芯片以及量子通信等领域的应用提供了可行性。
公开/授权文献
- CN117289390A 一种基于氮化硅脊形光波导的片上集成偏振分束器 公开/授权日:2023-12-26